Vier-Punkt-Methode
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Die Vierpunktmethode, auch Vierpunktmessung oder Vierspitzenmessung ist ein Verfahren um den Flächenwiderstand, also den elektrischen Widerstand einer Oberfläche oder dünnen Schicht zu ermitteln.
Vier Messspitzen werden in einer Reihe in gleichem Abstand auf die Oberfläche gebracht, wobei über die beiden äußeren ein bekannter Strom fließt und mit den beiden inneren der Potentialunterschied, d.h. die elektrische Spannung zwischen diesen Spitzen gemessen wird. Da das Verfahren auf dem Prinzip der Vierleitermessung beruht, ist es weitgehend unabhängig vom Übergangswiderstand zwischen den Messspitzen und der Oberfläche.
Den Flächenwiderstand RF erhält man aus der gemessenen Spannung U und dem Strom I mittels der Formel
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Vierpunktmessungen werden beispielsweise in der Halbleitertechnologie eingesetzt um den Flächenwiderstand einer auf den Halbleiter aufgebrachten Schicht zu bestimmen, dabei kann jedoch die Schicht durch die Messpitzen beschädigt werden.
Zur Bestimmung des Flächenwiderstands bei beliebiger Anordnung der Messkontakte wurde die Van-der-Pauw-Messmethode entwickelt.
