Ionenquelle
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Eine Ionenquelle dient zum Erzeugen von Ionenstrahlen. Sie erzeugt also eine mehr oder weniger gerichtete Bewegung von geladenen Atomen mit einer bestimmten Energieverteilung im Vakuum. Die Ionisierung der Atome geschieht dabei häufig durch Stoßionisation, chemische Ionisation, thermische Ionisation oder Feldionisation. In einem elektrischen Feld können die Ionen nach der Erzeugung beschleunigt und durch elektrische beziehungsweise magnetische Linsen fokussiert und abgelenkt werden. Häufig gibt es eine Extraktionskathode mit einer Lochblende, durch die der Ionenstrahl ins Vakuum hinaustritt.
Ionenquellen werden zum Beispiel in Teilchenbeschleunigern, in Massenspektrometern, bei der Isotopentrennung, für Ionenantriebe, beim Sputtern und in Feldionenmikroskopen eingesetzt.
Es existiert eine ganze Reihe von Geräten, die zur Ionenstrahlerzeugung eingesetzt werden können. Im folgenden werden einige Beispiele aufgeführt:
- Duoplasmatron (Plasmatron mit zwei Kammern)
- Elektron-Zyklotron-Resonanz-Ionenquelle (EZR-Ionenquelle)
- Elektrodesorptions-Ionenquelle
- Geißlersche Röhre nach Heinrich Geißler
- Kapillaritron
- Mikrowellen-Ionenquelle zum Beispiel mit einem Magnetron
- Penning-Ionenquelle (Manometer)
- Van-de-Graaff-Beschleuniger mit Bandgenerator nach Robert Jemison Van de Graaff