Индуктивно-связанная плазма
Материал из Википедии — свободной энциклопедии
Индукти́вно-свя́занная пла́зма (ИСП, англ. ICP) — плазма, образующаяся внутри горелки.
Содержание |
[править] Принцип действия
Обычно, в горелку поступает газ аргон. Чтобы заставить гореть аргон, в него закачивают энергию, помещая горелку в индукционную катушку. Когда в плазму аргоновой горелки попадают атомы и молекулы, они моментально превращаются в ионы. Для того, чтобы ввести атомы и молекулы интересующего материала в плазму их обычно растворяют в воде и распыляют в плазму в виде мельчайшей взвеси. Другой метод состоит в том, чтобы превратить вещество в газ. Например, это делают с помощью мощного лазерного луча, который выжигает кратер в подставленном под него кусочке материала, переводя небольшую его часть в газообразное состояние — это так называемая лазерная абляция).
[править] Преимущества
- Относительно высокая электронная плотность порядка 1015 см-3.
- Электроды находятся вне камеры горения. Отметим, что в ёмкостно-связанной плазме (англ. CCP), наоборот, электроды находятся внутри камеры, что делает их уязвимыми к воздействию плазмы.
[править] Применения
- в атомной эмиссионной спектрометрии (англ. ICP-AES)
- в масс-спектрометрии (англ. ICP-MS)
- при активном ионном травлении (англ. ICP-RIE)
[править] См. также
[править] Источники
- А. Монтасер, Д. Голайтли, «Индуктивно-связанная плазма в аналитической атомной спектрометрии» // VCH Publishers, Нью-Йорк, 1992.