Hafniumoxid
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| Strukturformel | |||||
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| Allgemeines | |||||
| Name | Hafniumdioxid | ||||
| Andere Namen | Hafniumoxid, Hafnium(IV)-oxid | ||||
| Summenformel | HfO2 | ||||
| CAS-Nummer | 12055-23-1 | ||||
| Kurzbeschreibung | hochbrechendes Oxid des Hafniums, weißes bis dunkelgraues kristallines Pulver mit kubischer Kristallstruktur | ||||
| Eigenschaften | |||||
| Molmasse | 210.49 g/mol | ||||
| Aggregatzustand | fest | ||||
| Dichte | 9.68 g/cm³ | ||||
| Schmelzpunkt | ~2750 °C | ||||
| Siedepunkt | 5400 °C | ||||
| Brechzahl | 1,95..2,00 | ||||
| Dampfdruck | - Pa (x °C) | ||||
| Löslichkeit | unlöslich in Wasser | ||||
| Sicherheitshinweise | |||||
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| R- und S-Sätze | R: 36-37-38 S: |
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| MAK | 0.5 mg/m³ | ||||
| Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. | |||||
Hafniumdioxid ist eine chemische Verbindung die in der Halbleiterproduktion als High-k-Dielektrikum oder als Vergütungs- oder Spiegelmaterial in der optischen Industrie eingesetzt wird. Es ist besitzt eine hohe Härte, eine geringe Wärmeausdehnung und ist chemisch Zirkondioxid (ZrO2) sehr ähnlich.
